FHR FLA 200-A

• Установка импульсного отжига в среде рабочего газа с максимальной температурой процесса до 1500°C
• Размер подложек: пластины диаметром 8”, с использованием адаптера: 4”, 3”, 2”, а также подложки прямоугольной или иной формы
• Подложкодержатель: алюминиевая шайба с кварцевыми фиксаторами
• Роботизированное устройство перемещения пластин
• Количество импульсных ламп: 8 шт со специальным рефлектором
• Длительность импульса лампового отжига: 3 мсек, 0,8 мсек
• Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
• Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см²
• Электрическая мощность (20 мсек): 10 МВт
• Максимально достижимая температура: до 1500°C
• Блок предподогрева электрической мощностью 18 кВт обеспечивает температурный диапазон до 800°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 80 К/сек; точность поддержания температуры ±0,5% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом
• Используемые газы: аргон (Ar), азот (N₂), кислород (O2), через регуляторы массового расхода
• Рабочее давление: атмосферное
• Габариты: 2890 х 1280 х 2200 мм (процессный блок), 1700 х 1600 х 1000 мм (конденсаторный блок)

к списку